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產(chǎn)品名稱：等離子濺射蒸發(fā)二合一鍍膜儀
產(chǎn)品型號：
產(chǎn)品廠商：成越科儀
產(chǎn)品文檔：

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簡單介紹：

CY-EVS180G-LV二合一鍍膜儀，可用于電子產(chǎn)品、玻璃、陶瓷樣品、金屬等樣品的鍍膜。尤其適合實(shí)驗(yàn)室SEM（掃描電鏡）的樣品制備。設(shè)備主要由石英真空室、等離子濺射靶，蒸發(fā)鍍膜裝置，放置樣品的樣品臺，真空泵機(jī)組、真空測量規(guī)管，進(jìn)氣系統(tǒng)和控制系統(tǒng)組成。設(shè)備主機(jī)采用觸摸顯示屏操作，溫控表檢測。其數(shù)字化參數(shù)界面和自動(dòng)化操作方式為用戶提供了優(yōu)良的研發(fā)平臺。真空室采用上中下結(jié)構(gòu)，樣品臺與靶的距離靈活可調(diào)。設(shè)備真空獲得系統(tǒng)采用上等雙極旋片泵。具有體積小，噪音小，無油污污染等優(yōu)點(diǎn)。真空腔體采用石英加工而成，呈現(xiàn)圓柱結(jié)構(gòu)，外形美觀，大方。主要密封法蘭采用 KF 系列高真空密封法蘭。真空腔體各接口均采用橡膠密封圈密封，真空性能優(yōu)良，能有效鍍膜質(zhì)量。

詳情介紹：

本產(chǎn)品為二合一鍍膜儀，可用于電子產(chǎn)品、玻璃、陶瓷樣品、金屬等樣品的鍍膜。尤其適合實(shí)驗(yàn)室SEM（掃描電鏡）的樣品制備。設(shè)備主要由石英真空室、等離子濺射靶，蒸發(fā)鍍膜裝置，放置樣品的樣品臺，真空泵機(jī)組、真空測量規(guī)管，進(jìn)氣系統(tǒng)和控制系統(tǒng)組成。
設(shè)備主機(jī)采用觸摸顯示屏操作，溫控表檢測。其數(shù)字化參數(shù)界面和自動(dòng)化操作方式為用戶提供了優(yōu)良的研發(fā)平臺。真空室采用上中下結(jié)構(gòu)，樣品臺與靶的距離靈活可調(diào)。
設(shè)備真空獲得系統(tǒng)采用上等雙極旋片泵。具有體積小，噪音小，無油污污染等優(yōu)點(diǎn)。
真空腔體采用石英加工而成，呈現(xiàn)圓柱結(jié)構(gòu)，外形美觀，大方。主要密封法蘭采用 KF 系列高真空密封法蘭。真空腔體各接口均采用橡膠密封圈密封，真空性能優(yōu)良，能有效鍍膜質(zhì)量。
技術(shù)參數(shù)：

樣品臺	φ80mm	至蒸發(fā)源間距
樣品臺	20mm~50mm可調(diào)	φ80mm
直流濺射頭	數(shù)量	2” x1
蒸發(fā)系統(tǒng)	蒸發(fā)源	鎢絲籃
	*高溫度	1700℃
	熱電偶	S型熱電偶
真空腔體	腔體尺寸	φ180mm X 150mm
	觀察窗口	全向透明
	腔體材料	高純石英
	開啟方式	頂蓋拆卸式
真空系統(tǒng)	機(jī)械泵	GHD-031B
	抽氣接口	KF16
	真空測量	電阻規(guī)
	排氣接口	KF16
	極限真空	10E-1Pa
	供電電源	AC;220V 50/60Hz
	抽氣速率	旋片泵：4L/S
濺射電源配置	數(shù)量	直流電源 x1
濺射電源配置	*大輸出功率	150w
其他	供電電壓	AC220V,50Hz
	整機(jī)尺寸	500 X 350 X 400mm
	整機(jī)重量	15kg
	整機(jī)功率	1.5kw

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