緊湊型等離子清洗機(jī)主要特點：

1.使用各種氣體清洗和去除晶片上的納米級有機(jī)污染物，至多可容納2"。
2.涂層前預(yù)清洗單晶基板的優(yōu)良工具，可獲得更好的薄膜質(zhì)量。
3.鉸鏈?zhǔn)介T，便于樣品裝載。
4.3"直徑石英腔室，適用于清潔2”晶圓，可選配石英舟。
5.石英室內(nèi)的可移動石英管易于清潔和更換。

緊湊型等離子清洗機(jī)技術(shù)參數(shù)：

主要部件	指標(biāo)名稱	參數(shù)指標(biāo)
清洗倉體	清洗倉材質(zhì)	高純石英
	清洗倉尺寸	直徑120mm;長度280mm
射頻電源	電源特性	該電源為全固態(tài)射頻電源，采用高穩(wěn)定高可靠的功放模塊和直流模塊，有效保障了電源的射頻功率輸出。采用高質(zhì)量的電子元器件，使產(chǎn)品的可靠性得以保證。
	電源優(yōu)勢	● 可長時間正常運(yùn)行 ● 操作簡單靈活 ● 電源效率高、發(fā)熱少 ● 具有完善的反射功率保護(hù)功能
	射頻功率	0~100W連續(xù)可調(diào)/0~150W連續(xù)可調(diào)
	信號頻率	13.56MHz ±0.005%
	反射功率	≤200W
	功率穩(wěn)定度	±0.1%
	射頻接頭	N型頭
	整機(jī)效率	≥75%
	諧波分量	≤-50 dBc
	冷卻方式	強(qiáng)制風(fēng)冷
氣體測量	測量部件	浮子流量計
	氣體通道	兩通道
	A通道量程	10～100ml
	B通道量程	16～160ml
真空獲取	真空測量	數(shù)字真空計（電阻規(guī)）
	真空抽取	雙極旋片泵
	電機(jī)轉(zhuǎn)速	50Hz時為：1440；60Hz時為：1720。
	抽氣速率	50Hz時為：1.1L/s；60Hz時為：1.3L/s。
	真空量程	1Pa～100000Pa
	極限真空1	Pa
	電機(jī)噪音	≤56dB
	管道接口	進(jìn)氣口：KF16;排氣口KF16.
	連接管道	KF16真空波紋管
	真空閥門	電磁閥
	電機(jī)功率	400W
其它	供電電源	AC220V 50/60Hz
	整機(jī)功率	1000W/1500W
	使用溫度	-10℃--40℃
	工作真空	≤40Pa
	整機(jī)尺寸	540mm×650mm×600mm
	整機(jī)重量	78kg

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